• Excimer @193 nm 4ns à fréquence comprise entre 1 et 300, 500 ou 1000 Hz
• Classe de protection complète niveau 1
• Refroidit à l’air pour la version 300 Hz et à l’eau pour les autres versions
• Incluant atténuateur optique haute résolution (double atténuateur en option ou inclut dans configuration biologique
• 3 débitmètres massiques (2 hélium et 1 azote/argon pour purge faisceau laser)
• homogénéisateur de faisceau laser
• caméra HD avec zoom x60
• ordinateur de contrôle intégré avec 1 écran min. 24″

Livré sans chambre d’échantillon (Cobalt, ou Cryo Cobalt ou IsoScell Δ100 ou UHV).
Nécessite, pour la version 300Hz, l’ajout d’un dispositif rotatif pour masques standards (500-041-015) ou X ,Y, Theta (500-041-007).
Les versions 500 et 1000 Hz possèdent des accessoires inclus comme l’eQC, l’Exicheck et une configuration biologique ou géologique inclue.

Garantie 2 ans.