Gaz pour ablation laser

Gaz techniques purs :
ArF 193 nm
KrF 248 nm
XeF 351 nm
HClXe 308 nm
HClKr 222 nm


Gaz techniques purs pré-mélangés : Argon/Fluor – ArF 193 nm, Krypton/Fluor – KrF 248 nm, Xénon/Fluor – XeF 351 nm, Chlorure d’hydrogène/Xénon – HClXe 308 nm, Chlorure d’hydrogène/Krypton 222 nm

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