Gaz techniques purs :
ArF 193 nm
KrF 248 nm
XeF 351 nm
HClXe 308 nm
HClKr 222 nm
Gaz techniques purs pré-mélangés : Argon/Fluor – ArF 193 nm, Krypton/Fluor – KrF 248 nm, Xénon/Fluor – XeF 351 nm, Chlorure d’hydrogène/Xénon – HClXe 308 nm, Chlorure d’hydrogène/Krypton 222 nm
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1050-001-001 – Mélange ArF Nova Gas Mlase Iridia
Gaz pré-mélangé ArF Nova Gas – Bouteille N°7 – 8 litres – Connexion DIN 477 #14 – 1000 litres – Pour source laser MLase pour ablation laser Iridia 300, 500 ou 1000 Hz Teledyne Photon Machines – Inclut transport depuis le fabricant (Europe – UK) et taxes de douanes – Date limite d’utilisation maximum 5 ans. -
1050-001-002 – Mélange Excimer ArF Nova Gas ATL
Gaz pré-mélangé ArF Nova Gas – Bouteille N°7 – 8 litres – pour source laser ATL – Pour Analyte Excimer G2, G2+, Excite, Excite+ Teledyne Photon Machine – Inclut transport depuis le fabricant (Europe – UK) – Date limite d’utilisation maximum 5 ans -
1050-001-003 – Mélange Excimer ArF Nova Gas Coherent
Gaz pré-mélangé ArF Nova Gas – Bouteille N°7 – 8 litres – Pour laser ESL ImageGeo193 – Inclut transport depuis le fabricant (Europe – UK) – Pour source laser Coherent – Date limite d’utilisation maximum 5 ans. -
1050-001-004 – Mélange ArF Nova Gas Coherent Geolas
Gaz pré-mélangé ArF Nova Gas – Bouteille N°16 – Vanne DN14 – 2000 litres – 131 bar – pour laser Excimer Coherent-Geolas -
1050-001-005 – Mélange ArF Nova Gas Coherent Geolas
Gaz pré-mélangé ArF Nova Gas – Bouteille N°20 – Vanne DN14 – 2800 litres – 145 bar – Pour laser Excimer Coherent-Geolas
