500-040-001 - 33-0700-300 (Teledyne USA)

500-040-001 – Ablation Laser Iridia Excimer 193 nm – 4ns, 300 Hz refroidit à l’air incluant atténuateur optique, chambre ablation Laser Coblat avec contrôle axe Z dynamique (à purge rapide ou standard), Squid, Exicheck, ordinateur de contrôle.